智通财经APP讯，芯源微(688037.SH)披露2023年度业绩快报，报告期内，公司实现营业总收入17.17亿元，同比增长23.98%;实现归属于母公司所有者的净利润2.51亿元，同比增长25.17%。

报告期内，公司光刻工序涂胶显影设备销售收入约10.66亿元，同比增长约40.80%;单片式湿法设备销售收入约6.00亿元，同比增长约9.09%。公司前道晶圆加工领域产品收入实现了持续增长，其中，拳头产品前道涂胶显影设备收入创历史新高。报告期内，公司在新产品拓展方面也取得良好进展，其中，前道单片式化学清洗机获得国内知名客户验证性订单，可应用于chiplet等领域的新产品临时键合机、解键合机也实现国内多家客户订单导入。未来，公司将基于国内领先的涂胶显影及湿法领域相关技术储备，按照“整机+部件”双轮驱动战略，持续不断完善产品布局。